Titre :	Elaboration et caractérisations des multicouches en TiN/TiO2 Application dans les miroirs de Bragg acoustiques
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Oussama Salah Eddine Daoudi, Auteur ; Farouk Laidoudi, Directeur de thèse
Année de publication :	2022
Importance :	1 vol (55 f.)
Format :	29 cm
Langues :	Français (fre)
Catégories :	Physique
Mots-clés :	Physique
Index. décimale :	530-Physique
Résumé :	Le travail porte sur l'étude de multicouches de TiN/TiO2 comme un miroir de Bragg phononique dans les résonateurs acoustiques de type SMR (Solidly Mounted Resonator). L'étude analytique permet de choisir l'épaisseur et le nombre de couches applicables dans le résonateur. L'élaboration de couches minces en TiN/Si, TiO2/Si et TiN/TiO2/Si est faite par pulvérisation cathodique alors que la caractérisation structurale est faite par DRX, AFM et nano-indentation. Le résultat de ce travail contribue également à la réalisation de miroir de Bragg phononiques en utilisant une seule cible (Ti) et par conséquent le développement rapide de résonateurs acoustiques SMR avec un coût réduit.
Côte titre :	MAPH/0532
En ligne :	https://drive.google.com/file/d/1pdtrQQjXnxIwFu1l00f7JZFlIkJk3oSn/view?usp=shari [...]
Format de la ressource électronique :	pdf

Elaboration et caractérisations des multicouches en TiN/TiO2 Application dans les miroirs de Bragg acoustiques [texte imprimé] / Oussama Salah Eddine Daoudi, Auteur ; Farouk Laidoudi, Directeur de thèse . - 2022 . - 1 vol (55 f.) ; 29 cm.
Langues : Français (fre)

Catégories :	Physique
Mots-clés :	Physique
Index. décimale :	530-Physique
Résumé :	Le travail porte sur l'étude de multicouches de TiN/TiO2 comme un miroir de Bragg phononique dans les résonateurs acoustiques de type SMR (Solidly Mounted Resonator). L'étude analytique permet de choisir l'épaisseur et le nombre de couches applicables dans le résonateur. L'élaboration de couches minces en TiN/Si, TiO2/Si et TiN/TiO2/Si est faite par pulvérisation cathodique alors que la caractérisation structurale est faite par DRX, AFM et nano-indentation. Le résultat de ce travail contribue également à la réalisation de miroir de Bragg phononiques en utilisant une seule cible (Ti) et par conséquent le développement rapide de résonateurs acoustiques SMR avec un coût réduit.
Côte titre :	MAPH/0532
En ligne :	https://drive.google.com/file/d/1pdtrQQjXnxIwFu1l00f7JZFlIkJk3oSn/view?usp=shari [...]
Format de la ressource électronique :	pdf