Titre :	Etude des mécanismes de rupture de barrières de diffusion à base de tantale Ta-Si pour la technologie d'interconnexion de cuivre
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Ahlem Kerour ; N Benouattas, Directeur de thèse
Editeur :	Setif:UFA
Année de publication :	2012
Importance :	1 vol (29 f.)
Format :	29 cm
Catégories :	Thèses & Mémoires:Physique
Mots-clés :	Ingénierie des Matériaux Rupture Barrières Diffusion Tantale Ta-Si Technologie D'interconnexion Cuivre
Index. décimale :	530 Physique
Côte titre :	MAPH/0019

Etude des mécanismes de rupture de barrières de diffusion à base de tantale Ta-Si pour la technologie d'interconnexion de cuivre [texte imprimé] / Ahlem Kerour ; N Benouattas, Directeur de thèse . - [S.l.] : Setif:UFA, 2012 . - 1 vol (29 f.) ; 29 cm.

Catégories :	Thèses & Mémoires:Physique
Mots-clés :	Ingénierie des Matériaux Rupture Barrières Diffusion Tantale Ta-Si Technologie D'interconnexion Cuivre
Index. décimale :	530 Physique
Côte titre :	MAPH/0019