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Michel Labachelerie, Directeur de publication, rédacteur en chef | Paris : Hermès science publications | Traité EGM | 2004Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices[...]
