Prêtable
| Titre : | Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs |
| Auteurs : | Michel Labachelerie |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris [France] : Lavoisier, 2004 |
| Collection : | Traité EGEM (Série : Microsystème), Dirigé par : Jean-Pierre goure, Jean-claude sabonnadière |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-2-7462-0818-6 |
| Format : | 330-IV p. / couv. ill. en coul. / 24 cm. |
| Langues: | Français |
| Langues originales: | Français |
| Index. décimale : | 621.381 (Electronique appliquée (microélectronique)) |
| Catégories : | |
| Mots-clés: | Microsystèmes ; Systèmes microélectromécaniques ; Matériaux cristallins |
| Résumé : |
Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques " épaisses ", inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des résines en couches épaisses est particulièrement utile dans ce contexte, de même que les techniques d'attaque chimique " humide " de matériaux cristallins, le procédé LIGA, et l'usinage plasma " profond " du silicium.
De plus, la réalisation de microactionneurs implique parfois le dépôt en couches minces et la structuration de matériaux " actifs " comme les matériaux piézoélectriques ou encore les alliages à mémoire de forme, dont l'élaboration est également détaillée dans ce volume. |
| Note de contenu : |
Sommaire :
Chapitre 1: La photolithographie de résines épaisses Chapitre 2: Procédés d'usinage de volume sur les matériaux cristallins Chapitre 3: Les procédés de gravure profonde par voie sèche Chapitre 4: Le procédé LIGA Chapitre 5: Technologies d'assemblage de tranches et procédés dérivés Chapitre 6: Usinage abrasif par ultrasons Chapitre 7: Microstéréo lithographie Chapitre 8: Microtechnologie des alliages à mémoire de forme Chapitre 9: Élaboration de couches d'actionnement en PZT Chapitre 10: Comportement mécanique des couches minces |
Exemplaires (3)
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
|---|---|---|---|---|
| F8/12074 | Livre | Bibliothèque de la Faculté de Technologie | Salle des livres | Disponible |
| F8/12075 | Livre | Bibliothèque de la Faculté de Technologie | Salle des livres | Disponible |
| F8/4093 | Livre | Bibliothèque de la Faculté de Technologie | Salle des livres | Disponible |
