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Des Couches minces de nitrure de hafnium couvrant une large gamme de compositions ont été déposées par pulvérisation magnétron réactive en mode DC sur des substrats en Si orientés (100).les propriétés physiques fondamentales de ces couches son[...]
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E-TH/0066 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
Des Couches minces de nitrure de hafnium couvrant une large gamme de compositions ont été déposées par pulvérisation magnétron réactive en mode DC sur des substrats en Si orientés (100).les propriétés physiques fondamentales de ces couches son[...]
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