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Les résultats de profils SIMS de dopage des films de silicium polycristallin (Si-LPCVD type-P) fortement dopés in-situ au bore, avant et après traitements thermiques d'oxydation ont été présentés. Ces mesures ont été faites sur des couc[...]
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E-TH/0155 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
Les Résultats de profils SIMS de dopage des films de silicium polycristallin (Si-LPCVD type-P) fortement dopés in-situ au bore, avant et après traitements thermiques d'oxydation ont été présentés. Ces mesures ont été faites sur des couc[...]
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TS4/7567 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
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