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Parmis les matériaux de base utilisés en microélectronique pour la fabrication de substrats innovants,le silicium sur isolant (SOI*Silicon On Insulator*),fabriqué par la technologie Smart Cut tm ,aréussi a tirer son épingle du jeu.
Le SOI per[...]
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E-TH/0603 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
Parmi les matériaux de base utilisés en microélectronique pour la fabrication de substrats innovants,le silicium sur isolant (SOI*Silicon On Insulator*),fabriqué par la technologie Smart Cut tm ,aréussi a tirer son épingle du jeu. Le SOI perme[...]
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TS4/8100 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
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TS4/4411 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
TS4/4412 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
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