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La plupart des éléments réagissent avec le silicium pour former des siliciures, obtenu par dépôt d'une fine couche de métal sur un substrat en silicium, puis recuit à différents budgets thermiques. Le métal réagit avec le silicium pour former la[...]
Exemplaires (1)
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E-TH/1964 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
La plupart des éléments réagissent avec le silicium pour former des siliciures, obtenu par dépôt d'une fine couche de métal sur un substrat en silicium, puis recuit à différents budgets thermiques. Le métal réagit avec le silicium pour former [...]
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TS4/9081 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
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