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Titre :
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Caractérisation et nettoyage du silicium : caractérisation physico-chimique et nettoyage par voie humide
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Auteurs :
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Annie Baudrant
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Type de document :
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texte imprimé
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Editeur :
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Paris : Hermès, 2003
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Collection :
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Traité EGEM. Electronique et micro-électronique
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ISBN/ISSN/EAN :
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978-2-7462-0605-2
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Format :
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1 vol. (218 p.) / ill., couv. ill. / 24 cm
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Note générale :
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Bibliogr. Index
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Langues originales:
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Index. décimale :
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621.381 (Electronique)
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Catégories :
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Ouvrages > Technologie (sciences appliquées, techniques) > Physique appliquée (Électronique - Électrotechnique)
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Mots-clés:
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Silicium : Chimie
Silicium : Substrats
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Résumé :
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Le Traité Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes répond au besoin de disposer d'un ensemble de connaissances, méthodes et outils nécessaires à la maîtrise de la conception, de la fabrication et de l'utilisation des composants, circuits et systèmes utilisant l'électricité, l'optique et l'électronique comme support. Conçu et organisé dans un souci de relier étroitement les fondements physiques et les méthodes théoriques au caractère industriel des disciplines traitées, ce traité constitue un état de l'art structuré autour des quatre grands domaines suivants : Electronique et micro-électronique ; Optoélectronique ; Génie électrique Microsystèmes. Chaque ouvrage développe aussi bien les aspects fondamentaux qu'expérimentaux du domaine qu'il étudie. Une classification des différents chapitres contenus dans chacun, une bibliographie et un index détaillé orientent le lecteur vers ses points d'intérêt immédiats : celui-ci dispose ainsi d'un guide pour ses réflexions ou pour ses choix. Les savoirs, théories et méthodes rassemblés dans chaque ouvrage ont été choisis pour leur pertinence dans l'avancée des connaissances ou pour la qualité des résultats obtenus.
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Côte titre :
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S8/64920-64921
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Exemplaires (2)
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| S8/64920 | Livre | Bibliothèque centrale | Disponible |
| S8/64921 | Livre | Bibliothèque centrale | Disponible |
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