| Titre : | Contribution a l'étude des nitrures de hafnium non stoechiométriques synthétises par pulvérisation magnétron DC |
| Auteurs : | Maabed Said ; Mohammed Guemmaz, Directeur de thèse |
| Type de document : | document électronique |
| Editeur : | Sétif : Université Ferhat Abbas faculté des sciences département de physique, 2007 |
| ISBN/ISSN/EAN : | E-TH/0066 |
| Format : | 1 vol. (89 f.) / ill. |
| Note générale : | Bibliogr. |
| Langues: | Français |
| Catégories : | |
| Résumé : |
Des Couches minces de nitrure de hafnium couvrant une large gamme de compositions ont été déposées par pulvérisation magnétron réactive en mode DC sur des substrats en Si orientés (100).les propriétés physiques fondamentales de ces couches sont étudiées par plusieurs techniques et discutées en terme d'influence des paramètres opératoires du processus de dépôt (flux d'azote et température des substats). |
| En ligne : | http://dspace.univ-setif.dz:8888/jspui/bitstream/123456789/1270/1/Maabed%20Said%20These%20Magist%C3%A9re.pdf |
Exemplaires (1)
| Cote | Support | Localisation | Disponibilité |
|---|---|---|---|
| E-TH/0066 | Thèse | Bibliothèque centrale | Disponible |
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