| Titre : | Fundamentals of microfabrication |
| Autre titre: | the science of miniaturization |
| Auteurs : | Marc J. Madou |
| Type de document : | texte imprimé |
| Mention d'édition : | 2e éd |
| Editeur : | New York : CRC Press, 2002 |
| ISBN/ISSN/EAN : | S4/19567 |
| Format : | 723 p / ill., couv. ill. en coul. / 29 cm |
| Note générale : | 0-8493-0826-7 |
| Langues originales: | |
| Index. décimale : | 600 (Technologie (généralités, sciences appliquées, techniques)) |
| Mots-clés: | Miniaturisation- Microélectronique |
Exemplaires (1)
| Cote | Support | Localisation | Disponibilité |
|---|---|---|---|
| S4/19567 | كتاب | Bibliothèque centrale | Disponible |
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